发明名称 MEASURING METHOD OF HIGH FREQUENCY DIELECTRIC CHARACTERISTIC OF THIN FILM INSULATOR
摘要
申请公布号 JPS6176964(A) 申请公布日期 1986.04.19
申请号 JP19840198043 申请日期 1984.09.21
申请人 NEC CORP 发明人 SUGIURA SADAHIKO
分类号 G01R27/26 主分类号 G01R27/26
代理机构 代理人
主权项
地址