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发明名称 PRODUCTION METHOD OF A SILICON TARGET PLATE
摘要
申请公布号 CS241850(B1) 申请公布日期 1986.04.17
申请号 CS19840008920 申请日期 1984.11.21
申请人 BENC,IVO,CS;KERHART,JAROSLAV,CS;KOPECKY,JOSEF,CS;KRIZ,JOSEF,CS;LADNAR,JOSEF,CS;MACH,JAROSLAV,CS;URBANEC,JAN,CS 发明人 BENC,IVO,CS;KERHART,JAROSLAV,CS;KOPECKY,JOSEF,CS;KRIZ,JOSEF,CS;LADNAR,JOSEF,CS;MACH,JAROSLAV,CS;URBANEC,JAN,CS
分类号 H01L31/00;(IPC1-7):H01L31/00 主分类号 H01L31/00
代理机构 代理人
主权项
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