| 发明名称 |
WERKWIJZE VOOR HET VERVAARDIGEN VAN SUBMICRONGROEVEN IN BIJVOORBEELD HALFGELEIDERMATERIAAL EN MET DEZE WERKWIJZE VERKREGEN INRICHTINGEN. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
NL8402859(A) |
申请公布日期 |
1986.04.16 |
| 申请号 |
NL19840002859 |
申请日期 |
1984.09.18 |
| 申请人 |
N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN TE EINDHOVEN. |
发明人 |
|
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/033;H01L21/3065;H01L21/762;(IPC1-7):H01L29/72;H01L29/76;H01L29/92;H01L21/76;H01L29/06 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
