发明名称 Process for the automatic positioning of a curpuscular probe.
摘要 Eine Korpuskularsonde (PE) soll auch dann auf einen bestimmten Bereich (MP, MP3) positioniert werden können, wenn die Ist-Lage dieses bestimmten Bereichs (MP, MP3) aufgrund von lokalen Feldern gegenüber seiner Soll-Lage verschoben ercheint und sich daher nicht von vornherein mit hoher Genauigkeit festlegen läßt. Die Korpuskularsonde (PE) wird auf einen vorgegebenen Bereich positioniert. Sodann wird die Korpuskularsonde (PE) in der Umgebung dieses Bereichs so abgelenkt, daß die Korpuskularsonde (PE) auf unterschiedliche Bereiche auftrifft. Aus den Meßsignalen, die beim Auftreffen der Korpuskularsonde (PE) auf die unterschiedlichen Bereiche ausgelöst werden, wird die Lage des bestimmten Bereichs (MP, MP3) ermittelt. Die Korpuskularsonde (PE) wird auf diesen Bereich (MP, MP3) positioniert. Eine elektrische Leitung (L, L3) besitzt einen Prüfflecken (MP, MP3), bei dem eine Abmessung größer ist als die Breite der Leitbahn (L,L3).
申请公布号 EP0177717(A1) 申请公布日期 1986.04.16
申请号 EP19850110382 申请日期 1985.08.19
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 WOLFGANG, ECKHARD, DR.;RUMMEL, PETER, DIPL.-ING.
分类号 H01J37/28;G01B15/00;G01R31/305;H01J37/304;(IPC1-7):H01J37/304;G01R31/28 主分类号 H01J37/28
代理机构 代理人
主权项
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