发明名称 VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUR FOTOELEKTRISCHEN BESTIMMUNG DER LAGE UND/ODER DER ABMESSUNGEN OPTISCH WIRKSAMER STRUKTUREN
摘要
申请公布号 DD234924(A1) 申请公布日期 1986.04.16
申请号 DD19850273363 申请日期 1985.02.19
申请人 FRIEDRICH-SCHILLER-,UNIVERSITAET JENA,,,DD 发明人 WOSCHNI,HANS-GUENTER,DD;CHRISTOPH,RALF,DD;KRAMER,HELMUT,DD
分类号 G01B11/00;(IPC1-7):G01B11/00 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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