| 发明名称 |
METHOD OF VAPOUR DEPOSITION OF MULTICONSTITUENT MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2129020(B) |
申请公布日期 |
1986.04.16 |
| 申请号 |
GB19830025881 |
申请日期 |
1983.09.28 |
| 申请人 |
* WESTERN ELECTRIC COMPANY INCORPORATED |
发明人 |
ROBERT PANG HENG * CHANG |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C14/00;C30B33/00;H01L21/31;(IPC1-7):C23C13/00 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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