发明名称 SURFACE INSPECTING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6171308(A) 申请公布日期 1986.04.12
申请号 JP19840193226 申请日期 1984.09.14
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 EJIMA YASUJI
分类号 B21C51/00;G01B11/30;G01N21/89;G01N21/892;G01N29/04 主分类号 B21C51/00
代理机构 代理人
主权项
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