发明名称 WIRE BONDER WITH AUTOMATIC INSPECTING FUNCTION
摘要
申请公布号 JPS6171694(A) 申请公布日期 1986.04.12
申请号 JP19840192689 申请日期 1984.09.17
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NEMOTO TOSHIYA;YAMAGUCHI MASAYOSHI;WATANABE TAKAO;SUEMATSU MUTSUMI
分类号 H01L21/66;H01L21/60;H05K3/32 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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