发明名称 |
PROCESS AND APPARATUS FOR PLASMA-INITIATED POLYMERIZATION |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS6169804(A) |
申请公布日期 |
1986.04.10 |
申请号 |
JP19840190769 |
申请日期 |
1984.09.12 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SAITO YUKIO;MATSUDA SHINPEI;MIZUMOTO MAMORU;SATO YASUSHI |
分类号 |
C08F2/00;C08F2/52;C08F20/00;C08F20/06;C08F20/54;C08F120/04 |
主分类号 |
C08F2/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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