发明名称 PROCESS AND APPARATUS FOR PLASMA-INITIATED POLYMERIZATION
摘要
申请公布号 JPS6169804(A) 申请公布日期 1986.04.10
申请号 JP19840190769 申请日期 1984.09.12
申请人 HITACHI LTD 发明人 SAITO YUKIO;MATSUDA SHINPEI;MIZUMOTO MAMORU;SATO YASUSHI
分类号 C08F2/00;C08F2/52;C08F20/00;C08F20/06;C08F20/54;C08F120/04 主分类号 C08F2/00
代理机构 代理人
主权项
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