发明名称 VAPOR DEPOSITION OF THIN FILM OF TRANSITION METAL NITRIDE
摘要
申请公布号 JPS6169969(A) 申请公布日期 1986.04.10
申请号 JP19850196865 申请日期 1985.09.05
申请人 MORTON THIOKOL INC 发明人 ANDORIASU EI MERASU
分类号 C01B21/06;C23C16/34;H01L21/285;H01L29/45 主分类号 C01B21/06
代理机构 代理人
主权项
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