Method of measuring pressure with a gas viscometer vacuum gauge and gas viscometer vacuum gauges for carrying out the method.

摘要

Zur Druckmessung ist ein Gasreibungsvakuummeter eingesetzt, in dessen Meßkopf zwischen elektrischen Antriebsspulen in magnetischem Feld ein Rotationskörper berührungslos gelagert ist. Der Rotationskörper wird mit Hilfe der Antriebsspulen in Drehung versetzt und oberhalb einer einer vorgegebenen minimalen Drehfrequenz gehalten. Infolge von Gasreibung auftretenden Drehzahlverminderungen des Rotationskörpers werden durch kontinuierliche oder intermittierende Beaufschlagung der Antriebsspulen mit Wechselstrom aus dem Drehstromgenerator ausgeglichen. Im Meßkopf des Gareibungsvakuummeters sind Sensoren angeordnet, die zur Erfassung der Drehfrequenz des Rotationskörpers dienen und Signale an eine elektronische Rechnereinheit weitergeben, welche aus der zeitlichen Veränderung der Drehfrequenz den Druck des den Rotationskörper umgebenden Gases ermittelt. Um den Einsatzbereich des Gasreibungsvakuummeters zu höheren Drucken hin zu erweitern, wird die Rechnereinheit zusätzlich mit einem elektrischen Signal, das mit der Temperatur des den Rotationskörper umgebenden Gases korreliert, in der Weise beaufschlagt, daß der Einfluß der durch den Antrieb des Rotationskörpers auf das Gas übertragenen Wärme auf die Druckmessung korrigiert wird.