发明名称 METHODS OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR CIRCUIT DEVICES
摘要
申请公布号 GB2154061(B) 申请公布日期 1986.04.09
申请号 GB19850002454 申请日期 1985.01.31
申请人 * HITACHI LTD 发明人 SETSUO * OGURO;SHIZUO * KONDO;MAKOTO * FURIHATA
分类号 H01L21/8226;H01L21/331;H01L21/8248;H01L21/8249;H01L27/02;H01L27/082;H01L29/73;H03K19/018;(IPC1-7):H01L27/06 主分类号 H01L21/8226
代理机构 代理人
主权项
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