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摘要
申请公布号
JPS6112369(B2)
申请公布日期
1986.04.08
申请号
JP19780164775
申请日期
1978.12.28
申请人
FUJITSU LTD
发明人
NAKAJIMA KAZUO
分类号
C30B19/00;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/208
主分类号
C30B19/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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