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发明名称 LOW/HIGH TEMPERATURE HANDLER EMPLOYING ELECTRONIC COOLER
摘要
申请公布号 JPS6168568(A) 申请公布日期 1986.04.08
申请号 JP19840189531 申请日期 1984.09.12
申请人 HITACHI LTD 发明人 TOKUNAGA MASAKI;KAIHARA MASAMI
分类号 G01R31/26;F25B21/02 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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