发明名称 PRODUCTION OF SILICON NITRIDE HAVING HIGH PURITY USING SILICON CHIP AS RAW MATERIAL
摘要
申请公布号 JPS6168310(A) 申请公布日期 1986.04.08
申请号 JP19840188387 申请日期 1984.09.07
申请人 OSAKA TITANIUM SEIZO KK 发明人 NAKAYAMA EIICHI;NODA TOSHIO
分类号 C01B21/068 主分类号 C01B21/068
代理机构 代理人
主权项
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