发明名称 METHOD OF ELECTROCHEMICAL-MECHANICAL POLISHING
摘要
申请公布号 SU1222446(A1) 申请公布日期 1986.04.07
申请号 SU19843706259 申请日期 1984.03.02
申请人 TULSKIJ POLT INSTITUT 发明人 GOLOVANCHIKOV MIKHAIL I,SU;NIKOLSKIJ IGOR YU,SU;SHARYGIN IGOR P,SU;BALASHOV NIKOLAJ B,SU
分类号 B23H5/06;(IPC1-7):B23H5/06 主分类号 B23H5/06
代理机构 代理人
主权项
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