| 发明名称 |
ALUMINUM NITRIDE FILMS AND PROCESSES FOR PRODUCING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CA904687(A) |
申请公布日期 |
1972.07.11 |
| 申请号 |
CAD904687 |
申请日期 |
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| 申请人 |
WESTINGHOUSE ELECTRIC CORPORATION |
发明人 |
TING L. CHU |
| 分类号 |
C23C16/30;H01L21/205;H01L23/29;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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