发明名称 GETTER-IONENZERSTAEUBER-KOMBINATIONSPUMPE FUER HOCH- UND ULTRAHOCHVAKUUMANLAGEN
摘要
申请公布号 DE3434787(A1) 申请公布日期 1986.04.03
申请号 DE19843434787 申请日期 1984.09.21
申请人 SIEMENS AG 发明人 LOEBS,FRIEDRICH;MAEGDEFESSEL,HEINZ,ING.
分类号 H01J41/12;(IPC1-7):H01J41/12 主分类号 H01J41/12
代理机构 代理人
主权项
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