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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITER-BAUELEMENTEN
摘要
申请公布号 DE3535046(A1) 申请公布日期 1986.04.03
申请号 DE19853535046 申请日期 1985.10.01
申请人 SHARP K.K. 发明人 TANEYA,MOTOTAKA;MATSUI,SADAYOSHI;MATSUMOTO,MITSUHIRO;HAYASHI,HIROSHI
分类号 H01L21/20;H01L21/208;H01S5/00;(IPC1-7):H01L21/18;H01L21/314;H01L33/00;H01S3/18 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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