PROCESS FOR THE HYDROGENATION OF SILICON TETRACHLORIDE.

摘要

Procédé d'hydrogénation au plasma à haute pression du tétrachlorure de silicium. L'hydrogène et le tétrachlorure de silicium réagissent en présence d'un plasma à haute pression et ensuite en présence d'un catalyseur à base de bore pour former du trichlorosilane et du dichlorosilane. L'addition du catalyseur permet d'accroître le rendement global de conversion et d'augmenter la teneur en dichlorosilane de l'effluent de réaction.