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发明名称 METHOD OF STORING HIGH-PURITY MONOSILANE
摘要
申请公布号 JPS6163516(A) 申请公布日期 1986.04.01
申请号 JP19840182774 申请日期 1984.09.03
申请人 MITSUI TOATSU CHEM INC 发明人 HIAI ATSUHIKO;WAKIMURA KAZUO;TANAKA MASAO;FUKUDA NOBUHIRO
分类号 C01B33/04 主分类号 C01B33/04
代理机构 代理人
主权项
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