| 发明名称 |
INSTALLATION FOR PRODUCTION OF SINGLE CRYSTAL OF COMPOUND SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6163591(A) |
申请公布日期 |
1986.04.01 |
| 申请号 |
JP19840185599 |
申请日期 |
1984.09.05 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
YONEYA KATSUTOSHI;NAKAMURA KIYOSHI;NAKANISHI TAKATOSHI |
| 分类号 |
C30B15/14;C30B27/02;H01L21/02;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B15/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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