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发明名称
MODULE TYPE FLOW CONTROLLER
摘要
申请公布号
JPS6162895(A)
申请公布日期
1986.03.31
申请号
JP19840185733
申请日期
1984.09.05
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
MATSUSHITA KAZUO
分类号
G21C15/02;G21C3/30;G21C3/322
主分类号
G21C15/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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