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发明名称
PROBER
摘要
申请公布号
JPS6162871(A)
申请公布日期
1986.03.31
申请号
JP19840185871
申请日期
1984.09.05
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
TATSUKI KAZUO
分类号
H03H3/08;G01B7/00;G01R1/06;H01L21/66
主分类号
H03H3/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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