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发明名称 ARTICLE TRANSPORTER
摘要
申请公布号 JPS6160481(A) 申请公布日期 1986.03.28
申请号 JP19840174956 申请日期 1984.08.24
申请人 HITACHI LTD 发明人 OHASHI YUTAKA;TANIGAWA TSUGIO;SANO YOSHIIKU
分类号 B65D85/38;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68 主分类号 B65D85/38
代理机构 代理人
主权项
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