发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6159795(A) 申请公布日期 1986.03.27
申请号 JP19840182045 申请日期 1984.08.30
申请人 FUJITSU LTD 发明人 FURUMIYA SATOSHI
分类号 H01S5/00;H01S5/042 主分类号 H01S5/00
代理机构 代理人
主权项
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