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发明名称 MOUNTING METHOD
摘要
申请公布号 JPS6159842(A) 申请公布日期 1986.03.27
申请号 JP19840180395 申请日期 1984.08.31
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YAMAGUCHI MASAYOSHI;KASHIMA NORIYASU;YOKOI KIYOTAKE;CHIBA KOICHI;KANEDA KATSUHIKO
分类号 H01L21/52;H01L21/50;H01L21/58 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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