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发明名称
PHOTO-AND ELECTRON RESIST
摘要
申请公布号
GB2122765(B)
申请公布日期
1986.03.26
申请号
GB19830021514
申请日期
1981.12.21
申请人
* INSTITUT KHIMII AKADEMII NAUK SSSR
发明人
* MOLODNYAKOV SERGEI PETROVICH;* FEDOROV JURY IVANOVICH;* KUZNETSOV VITALY ALEXEEVICH;* EGOROCHKIN ALEXEI NIKOLAEVICH;* BIRJUKOVA TAMARA GRIGORIEVNA;* RAZUVAEV GRIGORY ALEXEEVICH
分类号
G03C1/72;G03F7/038;G03F7/09;H01L21/30;(IPC1-7):G03C1/68
主分类号
G03C1/72
代理机构
代理人
主权项
地址
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