发明名称 PHOTO-AND ELECTRON RESIST
摘要
申请公布号 GB2122765(B) 申请公布日期 1986.03.26
申请号 GB19830021514 申请日期 1981.12.21
申请人 * INSTITUT KHIMII AKADEMII NAUK SSSR 发明人 * MOLODNYAKOV SERGEI PETROVICH;* FEDOROV JURY IVANOVICH;* KUZNETSOV VITALY ALEXEEVICH;* EGOROCHKIN ALEXEI NIKOLAEVICH;* BIRJUKOVA TAMARA GRIGORIEVNA;* RAZUVAEV GRIGORY ALEXEEVICH
分类号 G03C1/72;G03F7/038;G03F7/09;H01L21/30;(IPC1-7):G03C1/68 主分类号 G03C1/72
代理机构 代理人
主权项
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