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发明名称 ELECTRON BEAM PATTERN TRANSFER DEVICE AND METHOD FOR ALIGNING MASK AND SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 EP0065143(B1) 申请公布日期 1986.03.26
申请号 EP19820103628 申请日期 1982.04.28
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 MORI, ICHIRO;SUGIHARA, KAZUYOSHI;SHINOZAKI, TOSHIAKI;TOJO, TORU
分类号 H01L21/027;H01J37/304;H01L21/30;(IPC1-7):G03B41/00;H01L21/00;G03F9/00 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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