| 发明名称 |
VAPOR GROWTH DEVICE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6158893(A) |
申请公布日期 |
1986.03.26 |
| 申请号 |
JP19840182072 |
申请日期 |
1984.08.31 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
ITO HIROMI;AOKI OSAMU;KOMENO JUNJI;HOSHINO MASATAKA |
| 分类号 |
C30B25/08;H01L21/02;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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