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发明名称 VACUUM EXAUST LEAK DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6158252(A) 申请公布日期 1986.03.25
申请号 JP19840178345 申请日期 1984.08.29
申请人 HITACHI LTD 发明人 OTAKA TADASHI
分类号 H01L21/02;H01L21/67;H01L21/68 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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