发明名称 AUTOMATIC EXCHANGER OF ORIGINAL PLATE
摘要
申请公布号 JPS6156413(A) 申请公布日期 1986.03.22
申请号 JP19840177607 申请日期 1984.08.28
申请人 CANON INC 发明人 IMAI SHUNZO
分类号 B65G1/00;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/677 主分类号 B65G1/00
代理机构 代理人
主权项
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