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发明名称 METAL VAPOUR DEPOSITION
摘要
申请公布号 EP0138608(A3) 申请公布日期 1986.03.19
申请号 EP19840307051 申请日期 1984.10.15
申请人 UNITED KINGDOM ATOMIC ENERGY AUTHORITY 发明人 DONE, KENNETH CHARLES WILLIAM;HODDINOTT, DUDLEY STUART
分类号 C23C14/50;C23C14/54;(IPC1-7):F16C13/00 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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