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发明名称 SEMICONDUCTOR ANNEALING
摘要
申请公布号 IE50301(B1) 申请公布日期 1986.03.19
申请号 IE19800002151 申请日期 1980.10.16
申请人 ITT INDUSTRIES, INC. 发明人
分类号 H01L21/265;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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