发明名称 IMPURITY REMOVING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6154217(A) 申请公布日期 1986.03.18
申请号 JP19840173605 申请日期 1984.08.21
申请人 SONY CORP;KYORITSU SEISAKUSHO:KK 发明人 GOMI TAKAYUKI;SHIBADATE MASASHIGE;KASHIWANUMA AKIO;WATABE HIROSHI
分类号 B01D39/14;H01L21/304 主分类号 B01D39/14
代理机构 代理人
主权项
地址