| 发明名称 |
CANTILEVER DIFFUSION TUBE UNIT FORMED WITH SLOT AND METHOD AND DEVICE FOR CHARGING THEREIN |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS6153721(A) |
申请公布日期 |
1986.03.17 |
| 申请号 |
JP19850159224 |
申请日期 |
1985.07.18 |
| 申请人 |
KUOOTSU ENG & MATERIARUSU INC |
发明人 |
ANDORIYUU EFU UURUMAN;JIEI ESU HOANGU |
| 分类号 |
H01L21/677;F27B5/02;H01L21/22;H01L21/67 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
