| 发明名称 |
WERKWIJZE VOOR HET VERVAARDIGEN VAN EEN GEINTEGREERDE HALFGELEIDERKETEN. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL178461(C) |
申请公布日期 |
1986.03.17 |
| 申请号 |
NL19700015188 |
申请日期 |
1970.10.15 |
| 申请人 |
NEC CORPORATION TE TOKIO, JAPAN. |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/768;H01L23/522;H01L27/088;H01L29/06;(IPC1-7):H01L21/76;H01L23/06;H01L29/76;H01L21/82 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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