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发明名称 DISPOSITIF D'ALIGNEMENT POUR PROJECTION, NOTAMMENT POUR LA FABRICATION DE DISPOSITIFS A SEMI-CONDUCTEURS
摘要
申请公布号 FR2536547(B1) 申请公布日期 1986.03.14
申请号 FR19830013041 申请日期 1983.08.08
申请人 HITACHI LTD 发明人 KOYO MORITA, KEIZO NOMURA, HIROSHI NISHIZUKA, TAI HOSHI, YOICHIRO TAMIYA ET TERUSHIGE ASAKAWA;NOMURA KEIZO;NISHIZUKA HIROSHI;HOSHI TAI;TAMIYA YOICHIRO;ASAKAWA TERUSHIGE
分类号 G03B27/32;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03B41/00;G03F9/00;H01L21/308 主分类号 G03B27/32
代理机构 代理人
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