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发明名称 Ellipsometrische Vorrichtung zur Untersuchung der physikalischen Eigenschaften der Oberflaeche einer Probe
摘要
申请公布号 DE3434575(C1) 申请公布日期 1986.03.13
申请号 DE19843434575 申请日期 1984.09.20
申请人 SAGAX INSTRUMENT AB, SUNDBYBERG, SE 发明人 BJOERK, NILS ARVID NORMAN, TAEBY, SE;SANDSTROEM, ERLAND TOROJOERN, MOELNDAL, SE;STENBERG, JOHAN EMANUEL;STIBLERT, LARS BERTIL, GOETEBORG, SE
分类号 G01B11/06;G01B11/30;G01N21/21;G01N21/88;G01N21/93;(IPC1-7):G01N21/21;G01N21/55 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
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