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发明名称 METHOD OF METAL IONS FORMING
摘要
申请公布号 CS241509(B2) 申请公布日期 1986.03.13
申请号 CS19820004048 申请日期 1982.06.01
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI KK.,JP 发明人 KIRITA,KEI,JP;KOIKE,KATUO,JP
分类号 H01J37/317;B01J19/08;C23C14/48;C23C16/50;C23C16/513;C30B31/22;H01J27/02;H01J27/22;H01L21/265;(IPC1-7):C23C8/00 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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