发明名称 ORIENTATION SYSTEM OF SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPS6150342(A) 申请公布日期 1986.03.12
申请号 JP19840173623 申请日期 1984.08.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SUGISHIMA KENJI;MIYAZAWA HITOSHI
分类号 H01L21/68;H01L21/67 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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