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发明名称 HATSUKOHANDOTAISOCHINO SEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JPS5142489(A) 申请公布日期 1976.04.10
申请号 JP19740115558 申请日期 1974.10.09
申请人 HITACHI LTD 发明人 KASHIMURA TAKASHI;UMEDA JUNICHI
分类号 H01L21/22;H01L21/223;H01L33/16;H01L33/30 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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