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发明名称 CLEANING METHOD FOR DIFFUSION FURNACE
摘要
申请公布号 JPS6150330(A) 申请公布日期 1986.03.12
申请号 JP19840171450 申请日期 1984.08.20
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TOMINAGA YUKIHIRO;NISHITANI AKITO
分类号 H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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