发明名称 MOLECULAR BEAM EPITAXIAL CRYSTAL GROWING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6149413(A) 申请公布日期 1986.03.11
申请号 JP19840171771 申请日期 1984.08.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KONDO KAZUO
分类号 H01L21/20;H01L21/203;H01L21/26 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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