发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR PROCESSING SEMI-CONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT CHIPS
摘要
申请公布号 GB1475831(A) 申请公布日期 1977.06.10
申请号 GB19750001178 申请日期 1975.01.10
申请人 COMP INT POUR LINFORMATIQUE CII HONEYWELL BULL 发明人
分类号 H05K13/08;H01L21/00;H01L21/60;H01L21/78;H01L23/495;H05K3/34;(IPC1-7):H01L21/70 主分类号 H05K13/08
代理机构 代理人
主权项
地址