发明名称
摘要
申请公布号 JPS5234571(B2) 申请公布日期 1977.09.03
申请号 JP19720024670 申请日期 1972.03.13
申请人 发明人
分类号 C23C18/40 主分类号 C23C18/40
代理机构 代理人
主权项
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