| 发明名称 |
METHOD OF PRODUCING DIELECTRIC THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6147005(A) |
申请公布日期 |
1986.03.07 |
| 申请号 |
JP19840168466 |
申请日期 |
1984.08.11 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
FUJIMORI NAOHARU;DOI AKIRA |
| 分类号 |
C23C14/46;C23C14/34;H01B3/00;H01G4/06;H01G4/12;H01G4/33;H01L41/107;H01L41/39 |
主分类号 |
C23C14/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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