| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES HALBLEITERS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE3530065(A1) |
申请公布日期 |
1986.03.06 |
| 申请号 |
DE19853530065 |
申请日期 |
1985.08.22 |
| 申请人 |
MITSUBISHI DENKI K.K. |
发明人 |
WATABE,KIYOTO;KAMOTO,SATORU |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/336;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/18 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
