| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES VERBINDUNGSMUSTERS AUF EINER UNTERLAGENSTRUKTUR, INSBESONDERE HALBLEITERSTRUKTUR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE3530419(A1) |
申请公布日期 |
1986.03.06 |
| 申请号 |
DE19853530419 |
申请日期 |
1985.08.26 |
| 申请人 |
RICOH CO.,LTD. |
发明人 |
KAMEDA,MASAHIRO;KAMEI,YOJIRO;KURIHARA,KENICHI |
| 分类号 |
H01L21/3213;H01L21/3215;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/88;C23C14/48;H01L23/52 |
主分类号 |
H01L21/3213 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
