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发明名称
摘要
申请公布号 DE3129755(C2) 申请公布日期 1986.03.06
申请号 DE19813129755 申请日期 1981.07.28
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI K.K., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 SHINOZAKI, SATOSHI, YOKOHAMA, JP
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/768;H01L21/8226;H01L27/02;H01L27/082;(IPC1-7):H01L21/72 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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